對(duì)凈化無(wú)塵車間市場(chǎng)和技術(shù)的一個(gè)誤解是關(guān)于過濾效率。對(duì)納米粒子的過濾效率很低
對(duì)凈化無(wú)塵車間市場(chǎng)和技術(shù)的一個(gè)誤解是關(guān)于過濾效率。對(duì)納米粒子的過濾效率很低
通常HEPA過濾器被認(rèn)為對(duì)0.3微米以上或以下的微粒的過濾效率。也就是說,對(duì)直徑在0.3微米的微粒的過濾效率。這是因?yàn)?,根?jù)布朗運(yùn)動(dòng)的原理,直徑在0.2微米的粒子更容易與過濾器表面發(fā)生碰撞。
從邏輯上來講,微粒的直徑越接近于0,其形態(tài)特征越接近于氣體,也就更容易通過過濾網(wǎng)。但是,只有極少的實(shí)驗(yàn)對(duì)HEPA或ULPA過濾器對(duì)小納米粒子的作用進(jìn)行了研究。在測(cè)定過濾器的效率時(shí),首先碰到的問題是要找到一種正確的方法。至少在開始的時(shí)候已經(jīng)在化學(xué)藥方面取得了一定的進(jìn)步,找到了一種可以使微粒分解到原子水平的方法,總的說來,在這一水平,粒子有足夠的表面積可以用質(zhì)譜儀進(jìn)行測(cè)量。
到底能捕獲多少這種超細(xì)納米粒子,對(duì)于納米行業(yè)的成敗至關(guān)重要。一個(gè)方法是選用納米過濾器作為過濾介質(zhì),另一種可能的方法是選用活性炭。
現(xiàn)在,我們更關(guān)注凈化無(wú)塵車間中納米技術(shù)的應(yīng)用??赡軙?huì)大量產(chǎn)生直徑只有幾納米的粒子——0.2微米的粒子的直徑是200納米。在決定對(duì)凈化無(wú)塵車間進(jìn)行清潔時(shí),我們通??紤]的粒子直徑是0.1微米,即直徑是100納米或者更大。如此,我們可以得到一間1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的凈化無(wú)塵車間,里面的粒子都在90納米以下。
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