凈化工程之無塵室潔凈度分級分析

2019-06-21 點擊數(shù)：1466

半導體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管

半導體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因為需要一個無塵室。

所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

由于奈米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

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